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        經過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。


        集中體現在如下幾個方麵:


        (1)便攜式:最近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便於攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。


        (2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大係統和有大漏的工件很有益。


        (3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控製,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。


        (4)全無油的幹式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用幹式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油係統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。


        (5)檢漏範圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量範圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。


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